据去年(2019年)6月30日的产经新闻报道,日本决定加强管制对韩国出口以下三种半导体生产中使用的核心材料:高纯度氟化氢、Photo Resist(光刻胶、感光液)、用于显示屏面板的聚酰亚胺。为了能在日本的实施日(7月4日)之前尽可能储备较多的库存,三星电子和SK海力士加急外派采购负责人到日本、以及其他海外地区去谈判。然而当时的库存仅能支撑两个月。去年8月日本表示,没有得到可出口光刻胶、氟化氢许可的企业,对韩出口。
韩国提出了“半导体材料的国产化”政策,并对材料、零部件、设备行业(材料、元件、设备)进行了扶持。时至今日,一年时光已经过去,取得了一部分。其中,具有代表意义的是研发出了与日本厂商同等质量的、液体氟化氢材料。但是,用于极紫外光刻(Extreme Ultra-violet,EUV)工序的光刻胶、高纯度氟化氢气体的国产化还没有得以实现。此外,产业界、学界普遍认为:“虽然韩国企业应该从多家供应商采购,但也不应该无条件地断绝与日本企业的合作”。
韩国成功研发了氟化氢液体 韩国对“材料、零件、设备的国产化政策”的实施结果,表示出了肯定的评价。文在寅总统在6月29日召开的首席秘书和辅佐官会议上表示,“这一年来,我们不畏日本的打击、正面迎击,取得了突破性进步。我们开拓了自主研发核心技术、不受制于人的产品供应体制,开拓了的经济道”。
当然,韩国也取得了一部分。比方说,韩国成功研发了液体氟化氢(属于日本对韩出口的范围)。液体氟化氢是一种用于半导体湿法蚀刻工序(即除去半导体晶圆上的异物)的材料。在日本实施对韩出口之前,日本的STELLA CHEMIFA株式会社、森田化学工业等企业向三星电子、SK海力士等韩国企业供货。但是,自日本实施以后,韩国开始努力实施材料的国产化,今年年初韩国Soul Brain公司、RAM Technology等企业成功量产了与日本同等质量的材料,汉阳大学融合电子工学部的朴在勤教授表示:“韩国企业研发的材料与日本的产品具有同等的质量”。
说到氟化氢气体,其研发、制造都比液体难得多。SK Materials在6月17日表示即将启动纯度为99.999%的氟化氢的量产,但业界却表示纯度还是低于之前采用的日本的产品。据业界相关人员表示,“成功制作了氟化氢气体产品,这是值得肯定的,但是纯度较低,为了尽快应用到生产中,还在测试中”。
韩国,光刻胶的国产化之很漫长 与氟化氢一样同属于日本对韩出口目录的另一产品为用于EUV设备的光刻胶(Photo Resist),而韩国的光刻胶国产化之还很漫长。对于韩国三星专注的5纳米(1纳米=1米的1/10亿)以及更高的纳米制程来说,EUV设备是必不可缺的。因此,如果三星电子无法采购用于EUV的光刻胶,将无法与的TSMC继续展开竞争。
东进半导体化学公司(DONGJIN SEMICHEM)等企业虽然正在研发用于EUV的光刻胶,但量产时间还未定。目前还是不得不使用JSR(捷时雅)、信越化学工业等日本企业的产品。据韩国贸易协会表示,自日本对韩出口到今年五月份,日本产品的进口总额为2亿7,474万3,000美元(约人民币19亿元),去年同期同比增加了3.5%。除此之外,主要用于柔性有机EL的聚酰亚胺的对日本的依赖程度为74%。据说韩国企业依旧十分钟爱日本住友化学的产品。
如果韩国、日本的企业分道扬镳,将会产生1,233亿美元的附加值 产业界、学术界普遍认为,如果韩国局限于“国产化”的框架、盲目日本产品、持续与日本保持对立态势,这将不会产生任何好处。有分析指出,像氟化氢气体、EUV光刻胶这样的、很难找到代替品的材料还有200多种。
韩国首尔大学材料工学部的Hwang Chul Soon教授指出,应该始终保持采用质量较高的材料这一战略,也应该把日本企业当作材料采购的对象,不应该无条件地排除某一国家的产品。
近日,东义大学贸易学院的李弘培教授在韩国全国经济人联合会召开的“日本对韩出口一周年,评测与课题研讨会”上表示,要韩国、日本产业的竞争优势地位,需要确保韩国日本之间的紧密合作关系。如果韩国、日本企业分道扬镳,将会产生1,233亿美元(约人民币8,631亿元)的附加价值。推背图 详解
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